| Code # | 542 bis 310 |
|---|---|
| Reisen in der Arbeitsphase | 355 x 125 mm |
| X/Y-Axis Reise | 200 x 120 mm |
| Z-Achse | 110 mm |
| Messgenauigkeit | ≤3+L/200um |
| Code# | 542-310 |
|---|---|
| Working Stage Travel | 355x125mm |
| X/Y-axis Travel | 200x120mm |
| Z axis | 110mm |
| Measurement Accuracy | ≤3+L/200um |
| Code # | 521 bis 420J |
|---|---|
| Marmorarbeitsbank | (650*580) mm |
| Glasarbeitsbank | (540*440) mm |
| Fahrt auf der Achse X/Y | (500*400) mm |
| Z-Achse Reisen | Wirkungsgrad 200 mm |
| Code # | 523 bis 180M |
|---|---|
| Fahrt auf der Achse X/Y | (1500*1200) mm |
| Z-Achse Reisen | 200 mm |
| X/Y/Z-Achse Lineare Skala | Auflösung: 0,1 mm |
| Genauigkeit der XY-Achse | ≤ 3,0+L/200 ((um) |
| Code # | 528-180H |
|---|---|
| Fahrt auf der Achse X/Y | (300*400) mm |
| Z-Achse Reisen | 200 mm |
| X/Y/Z-Achse Lineare Skala | Auflösung: 0,1 mm |
| Genauigkeit der XY-Achse | ≤1,2+L/200 ((um) |
| Code# | 542-310 |
|---|---|
| Working Stage Travel | 355x125mm |
| X/Y-axis Travel | 200x120mm |
| Z axis | 110mm |
| Measurement Accuracy | ≤3+L/200um |
| Code# | 542-310 |
|---|---|
| Working Stage Travel | 355x125mm |
| X/Y-axis Travel | 200x120mm |
| Z axis | 110mm |
| Measurement Accuracy | ≤3+L/200um |
| Code# | 525-020DP |
|---|---|
| Granite Stage | (310*220) mm |
| Glass Stage | (179.5*129.5) mm |
| X/Y Axis Travel | (150*100) mm |
| Linear Scales | Resolution: 0.5um |
| Code # | 525-020P |
|---|---|
| Granitbühne | (310*220) mm |
| Glasstadium | (179,5*129,5) mm |
| Verfahrweg der X/Y-Achse | (150*100) mm |
| X/Y-Linearschalen | Auflösung: 0,5 μm |
| Code# | 525-020EP |
|---|---|
| Granite Stage | (390*220)mm |
| Glass Stage | (229.5*129.5)mm |
| X/Y Axis Travel | (200*100)mm |
| Linear Scales | Resolution: 0.5um |