| Code # | 512 bis 400 |
|---|---|
| Größe der Arbeitsstadien | 455x126 mm |
| Reisen in der Arbeitsphase | 300 x 150 mm |
| Konzentration | 120 mm |
| Genauigkeit | ≤3+L/200 (um) |
| Code # | 512 bis 400 |
|---|---|
| Größe der Arbeitsstadien | 455x126 mm |
| Reisen in der Arbeitsphase | 300 x 150 mm |
| Konzentration | 120 mm |
| Genauigkeit | ≤3+L/200 (um) |
| Code# | 542-310 |
|---|---|
| Working Stage Travel | 355x125mm |
| X/Y-axis Travel | 200x120mm |
| Z axis | 110mm |
| Measurement Accuracy | ≤3+L/200um |
| Code # | 511 bis 410 |
|---|---|
| Metallbühnengröße | 308 x 408 mm |
| Größe der Glasbühne | 198x306 mm |
| Reisebereich der Stufe | 200x100mm |
| Produktdimension | 1003 x 617 x 1309 mm |
| Code # | 525-020P |
|---|---|
| Granitbühne | (310*220) mm |
| Glasstadium | (179,5*129,5) mm |
| Verfahrweg der X/Y-Achse | (150*100) mm |
| X/Y-Linearschalen | Auflösung: 0,5 μm |
| Code # | 511 bis 330 |
|---|---|
| Metallbühnengröße | 258 x 308 mm |
| Größe der Glasbühne | 148x206 mm |
| Reisebereich der Stufe | 150 x 100 mm |
| Produktdimension | 988 x 563 x 1157 mm |
| Code # | 510 bis 340 |
|---|---|
| LCD-Bildschirm-Größe | 115 mm × 85 mm |
| Auflösung des LCD-Bildschirms | 640*480 |
| Anzeigen-Achse | 3 Achsen (X,Y,Z/Q) |
| Auflösung in linearer Skala | 0.1um,0.2um,0.5mm, 1mm, 2mm, 5mm |
| Code# | 525-020GP |
|---|---|
| Granite Stage | (505*350)mm |
| Glass Stage | (356*248)mm |
| X/Y Axis Travel | (300*200)mm |
| Linear Scales | Resolution: 0.5um |
| Code# | 525-020EP |
|---|---|
| Granite Stage | (390*220)mm |
| Glass Stage | (229.5*129.5)mm |
| X/Y Axis Travel | (200*100)mm |
| Linear Scales | Resolution: 0.5um |
| Code# | 542-310 |
|---|---|
| Working Stage Travel | 355x125mm |
| X/Y-axis Travel | 200x120mm |
| Z axis | 110mm |
| Measurement Accuracy | ≤3+L/200um |