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Prüfmaschine für die Präzisions-Schleifbeschichtung ST-5000G

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Prüfmaschine für die Präzisions-Schleifbeschichtung ST-5000G
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Eigenschaften
Technische Daten
Flachheit des Substrats: < 10 u
Beschichtungsbreite: 450mm
Substratbefeuchtbarkeit: < 15°
Substrattemperatur: 23±2℃
Verfahren zur Filmbildung: Schlitzbeschichtung
Viskosität: 300 nm bis 10 μm (Trocknenfilm)
Filmbildende Homogenität: 5% ≤ in der Folie, 5% ≤ zwischen den Folien
Hervorheben:

Beschichtungsprüfmaschine

,

Prüfmaschine für Präzisionsslit-Beschichtung

,

Prüfmaschine für Präzisionsslit-Beschichtung
Grundinformation
Herkunftsort: DONGGUAN, CHINA
Markenname: SQP
Zertifizierung: CE/ROHS
Modellnummer: Städte und Gebiete
Dokument: D4 Sinowon ST-5000G Precisi...a1.pdf
Zahlung und Versand AGB
Verpackung Informationen: Sperrholz
Lieferzeit: 30 ARBEITSTAGE
Zahlungsbedingungen: L/C, T/T
Versorgungsmaterial-Fähigkeit: 50 Sätze/Monat
Produkt-Beschreibung

ST-5000G Präzisions-Schlitzbeschichtungs-Testmaschine

Prüfmaschine für die Präzisions-Schleifbeschichtung ST-5000G 0​


ProduktEinführung:
Die ST-5000G Präzisions-Beschichtungs-Experimentiermaschine ist eine neue Art von hochpräziser, hochzuverlässiger und hochstabiler Experimentierbeschichtungsmaschine. Die Eigenschaften des Geräts sind: Mit der selbstproduzierten und entwickelten hochpräzisen Klebstoffpumpe und dem hochpräzisen Schlitzkopf wird das flüssige Medikament gleichmäßig auf dem starren Substrat aufgetragen, um eine großflächige Dünnbeschichtung mit hoher Filmgleichmäßigkeit herzustellen.
 

Gerätespezifikationen und Zusammensetzung:

Geräteparameter:

Anwendbare Substrate:

(1) Substratgröße 500 mm * 500 mm
(2) Substratplanheit ＜10u
(3) Substratbenetzbarkeit ＜15°
(4) Substrattemperatur 23±2℃

 

Anwendbare Flüssigkeiten:

(1) Typ Isopropanol, DMF, DMSO und andere organische Lösungsmittel oder andere gemischte Lösungsmittel
(2) Viskosität 1~70CPS
(3) Feststoffgehalt 7%~50%

 

Geräteprozessleistung:

(1) Filmbildungsmethode Schlitzbeschichtung
(2) Viskosität 300nm~10um (Trockenfilm)
(3) Filmhomogenität 5% ≤ im Film, 5% ≤ zwischen den Filmen

 

Beschichtungskopf:

Nummer Projekt Technische Parameter Bemerkung
1 Material SUS630  
2 Beschichtungsbreite 450 mm  
3 Ebenheit/Geradheit ≤3um  
4 Lumenrauheit Ra≤0,025  
5 Schlitzabstände Dichtungstyp, Dichtungsgleichmäßigkeit ≤±2um  
6 Spaltverstellbereich ≤±10um  
7 Außerhalb des Randbereichs ≤10mm  
8 Kollisionsschutz des Beschichtungskopfes Er ist 20 um niedriger als die Lippe, was effektiv verhindert, dass die Lippe kollidiert  
9 Korrektur des Beschichtungskopfes Er wird automatisch von einem hochpräzisen linearen Wegaufnehmer korrigiert  
10 Blasenablassdesign Die Kammer ist hochliegend und hat ein hohes Maß an Vesikelöffnungen  

 

Beschichtungspumpen:

Nummer Projekt Technische Parameter Bemerkung
1 Pumpenkörpermaterial SUS316L  
2 Dichtungsringmaterial Korrosionsbeständige Dichtungen  
3 Pumpenvolumen 5ml  
4 Antriebssteuerung Servomotor, Kugelumlaufspindel  
5 Spucksteuerungsauflösung 0,01 ul/s  
6 Reaktionszeit 0,01s  
7 Spuckgeschwindigkeit 0~2000ul/s  
8 Maximale Spuckbeschleunigung 2000ul/s²  
9 Funktionskonfiguration

1) Die Flüssigkeitszufuhrpumpe baut nach dem Nachfüllen automatisch den Druck ab；

2) Flüssigkeitsausstoß-Verzögerungsfunktion;

3) Terminal-Ansaugfunktion;

4) Automatische Rehydrierungsfunktion;

5) Mehrstufige Beschichtungsanpassung;

 

 

 

 

 

 

 

 

Bewegungskomponenten:

Nummer Projekt Technische Parameter
1 Anzahl der Z-Achsen 2个
2 Z-Achsen-Auflösung 0,1 um
3 Z-Achsen-Antriebssteuerung Servomotor, Schleifschraube, Führungsschiene
4 Z-Achsen-Wiederholbarkeit ≤5um
5 Z-Achsen-Geschwindigkeitsbereich 0~50mm/s
6 Y-Achsen-Antriebstyp Plattformgetrieben
7 Y-Achsen-Antriebssteuerung Servomotor, Schleifschraube, Führungsschiene
8 Y-Achsen-Geschwindigkeitsbereich 0~200mm/s
9 Y-Achsen-Bewegungsoberflächengenauigkeit Besser als ±5um
10 Y-Achsen-Wiederholbarkeit ≤5um
11 Funktionskonfiguration

1) Beschleunigung und Verzögerung der Beschichtung können eingestellt und angepasst werden;

2) Beschichtungsspalt einstellbar；

3) Einstellbarer Spalt der Endrückführung;

 

Beschichtungsplattform:

Nummer Projekt Technische Parameter Bemerkung
1 Material Granit der Güte 000  
2 Passt sich der Substratgröße an 500*500mm  
3 Oberflächenebenheit Ebenheit≤±5um  
4 Substratausrichtung Vakuumadsorption der Plattform  
5 Substratausrichtung Manuell  
6 Aufnehmen und Ablegen der Tablette Manuell  

 

Flüssigkeitsversorgungssystem:

Nummer Projekt Technische Parameter Bemerkung
1 Schlauchmaterial PFA  
2 Flüssigkeitsversorgungstank Abgeschältes Material, 100 ml Volumen  
3 Flüssigkeitszufuhrverfahren Der Tank wird unter Druck gesetzt  
4 Waschen des Tanks Aus Edelstahl gefertigt  

 

Vorbehandlungsreinigungseinheit:

Nummer Projekt Technische Parameter Bemerkung
1 Vorbehandlungsverfahren Vorbehandlungsplattform  
2 Reinigung der Düsenlippe Manuell  
3 Einweichen und Ablassen des Tanks Es wird verwendet, wenn das Gerät im Leerlauf ist, die Pipeline sauber ist und der Abfall abgelassen wird  

Mensch-Maschine-Schnittstelle:

Nummer

 Projekt Technische Parameter Bemerkung
1 Touchscreen Vorbehandlungsplattform  
2 Protokollierungsfunktion Der Beschichtungsprozess jedes Substrats kann eingesehen werden, einschließlich der Geschwindigkeits- und Positionsparameter jeder Achse des Beschichters zu jedem Zeitpunkt im Beschichtungsprozess  
3 Betriebsberechtigungen

Drei Arten von Betriebsberechtigungen zum Anmelden.

Manuelle, halbautomatische und automatische Aktionen des Geräts können alle über die Schnittstelle bedient werden

  

 

Staubschutz:

Nummer Projekt Technische Parameter Bemerkung
1 Zusammensetzung Legierung, Stanzplatte, FFU, Dichtungsstreifen  
2 Konstruktion Transparent kann den Beschichtungszustand in Echtzeit beobachten. FFU-Spülung mit Mikro-Überdruck stellt sicher, dass die äußere Umgebung besser ist als die von Klasse 1.000 in der äußeren Umgebung  
3 Abluft Der äußere Deckel ist mit organischen Abluftöffnungen versehen, und die Schnittstellengröße beträgt DN80  

 

Konfigurieren die Checkliste:

Hauptkonfiguration:

Nummer Name Marke Der Standort der Marke
1 SPS Siemens Deutschland
2 Servomotor Panasonic China
3 Frequenzumrichter INVT China
4 HMI Kunlun-Tonalität Japan
5 Lager NSK / FAG Japan/Deutschland
6 Miniatur-Leistungsschalter Schneider/CHINT Frankreich/China
7 Relais Schneider Frankreich
8 Luftschalter Schneider/CHINT Frankreich/China

 

Gerätesicherheitskonfiguration:

1 Not-Aus-Schalter Die saubere Abdeckung, die Bedienoberfläche, der elektrische Steuerkasten und andere Positionen sind mit EMO-Schaltern ausgestattet, und mehrere Punkte können im Notfall schnell gestoppt werden
2 Sicherheitsverriegelungen Die Quelle der Maschinengefahren verwendet eine ausfallsichere Hardware-Verriegelungsvorrichtung, die die Arbeit von Einheiten stoppt, die Verletzungen verursachen können, wenn die Schutzabdeckung des Geräts geöffnet wird.
3 Akustischer und optischer Alarm Das Gerät ist mit einer akustischen und visuellen Alarmeinrichtung an einer gut sichtbaren oder vom Kunden angegebenen Stelle installiert
4 Saubere Abdeckung Das Gerät ist durch eine äußere Abdeckung isoliert, und die Staubschutzabdeckung wird von der äußeren Umgebung ferngehalten, während gleichzeitig verhindert wird, dass Personen während des Betriebs eintreten
5 Belüftung und Abluft Die Beschichtung organischer flüchtiger Gase ist mit einem Abluftanschluss versehen
6 andere Die Konstruktion des Geräts für die Verwendung von Wasser, Strom und Chemikalien entspricht den nationalen Sicherheitsstandards
Größe und Tag:

Kleine Beschichtungsmaschine

Kleine Farbprüfmaschine

Beschichtungstestgeräte

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