| Code# | 542-310 |
|---|---|
| Working Stage Travel | 355x125mm |
| X/Y-axis Travel | 200x120mm |
| Z axis | 110mm |
| Measurement Accuracy | ≤3+L/200um |
| Code# | 542-310 |
|---|---|
| Working Stage Travel | 355x125mm |
| X/Y-axis Travel | 200x120mm |
| Z axis | 110mm |
| Measurement Accuracy | ≤3+L/200um |
| Code # | 512 bis 400 |
|---|---|
| Größe der Arbeitsstadien | 455x126 mm |
| Reisen in der Arbeitsphase | 300 x 150 mm |
| Konzentration | 120 mm |
| Genauigkeit | ≤3+L/200 (um) |
| Code # | 512 bis 400 |
|---|---|
| Größe der Arbeitsstadien | 455x126 mm |
| Reisen in der Arbeitsphase | 300 x 150 mm |
| Konzentration | 120 mm |
| Genauigkeit | ≤3+L/200 (um) |
| Code # | 512 bis 400 |
|---|---|
| Größe der Arbeitsstadien | 455x126 mm |
| Reisen in der Arbeitsphase | 300 x 150 mm |
| Konzentration | 120 mm |
| Genauigkeit | ≤3+L/200 (um) |
| Code # | 512 bis 350 |
|---|---|
| Größe der Arbeitsstadien | 355x126 mm |
| Reisen in der Arbeitsphase | 200x100mm |
| Konzentration | 90 mm |
| Genauigkeit | ≤3+L/200 (um) |
| Code # | 512 bis 350 |
|---|---|
| Größe der Arbeitsstadien | 355x126 mm |
| Reisen in der Arbeitsphase | 200x100mm |
| Konzentration | 90 mm |
| Genauigkeit | ≤3+L/200 (um) |