| Code# | 525-020DP |
|---|---|
| Granitstufe | (310*220) mm |
| Glasbühne | (179,5*129,5) mm |
| X/Y -Achse -Reise | (150*100) mm |
| Lineare Skalen | Auflösung: 0,5um |
| Code# | 525-020P |
|---|---|
| Granitstufe | (310*220) mm |
| Glasbühne | (179,5*129,5) mm |
| X/Y -Achse -Reise | (150*100) mm |
| X/Y-Linearschalen | Auflösung: 0,5um |
| Code# | 512 bis 350 |
|---|---|
| Größe der Arbeitsstadien | 355x126 mm |
| Reisebühne | 200x100mm |
| Fokussierung | 90mm |
| Genauigkeit | ≤3+L/200 (um) |
| Code# | 542-310 |
|---|---|
| Reisebühne | 355x125 mm |
| X/Y-Achse-Reise | 200x120 mm |
| Z -Achse | 110mm |
| Messgenauigkeit | ≤ 3+l/200um |
| Code# | 542-310 |
|---|---|
| Reisebühne | 355x125 mm |
| X/Y-Achse-Reise | 200x120 mm |
| Z -Achse | 110mm |
| Messgenauigkeit | ≤ 3+l/200um |