| Code # | 512 bis 400 |
|---|---|
| Größe der Arbeitsstadien | 455x126 mm |
| Reisen in der Arbeitsphase | 300 x 150 mm |
| Konzentration | 120 mm |
| Genauigkeit | ≤3+L/200 (um) |
| Code # | 512 bis 400 |
|---|---|
| Größe der Arbeitsstadien | 455x126 mm |
| Reisen in der Arbeitsphase | 300 x 150 mm |
| Konzentration | 120 mm |
| Genauigkeit | ≤3+L/200 (um) |
| Code # | 512 bis 350 |
|---|---|
| Größe der Arbeitsstadien | 355x126 mm |
| Reisen in der Arbeitsphase | 200x100mm |
| Konzentration | 90 mm |
| Genauigkeit | ≤3+L/200 (um) |