| Code # | 522 bis 280G |
|---|---|
| Fahrt auf der Achse X/Y | (300*200) mm |
| Z-Achse Reisen | 200 mm |
| X/Y/Z-Achse Lineare Skala | 0.1um |
| Genauigkeit der XY-Achse | ≤1,8+L/200 ((um) |
| Code # | 522 bis 420G |
|---|---|
| Fahrt auf der Achse X/Y | (300*200) mm |
| Z-Achse Reisen | 200 mm |
| X/Y/Z-Achse Lineare Skala | 0.5um |
| Genauigkeit der XY-Achse | ≤ 2,0+L/200 ((um) |
| Code # | 524 bis 220H |
|---|---|
| Fahrt auf der Achse X/Y | (400*300) mm |
| Z-Achse Reisen | 200 mm |
| X/Y/Z 3-Achsen-Linienskala ((mm) | Auflösung: 0,5 μm |
| Wiederholbarkeit | 2um |
| Code # | 524 bis 220H |
|---|---|
| Fahrt auf der Achse X/Y | (400*300) mm |
| Z-Achse Reisen | 200 mm |
| X/Y/Z 3-Achsen-Linienskala ((mm) | Auflösung: 0,5 μm |
| Wiederholbarkeit | 2um |
