Code # | 525-020P |
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Granitbühne | (310*220) mm |
Glasstadium | (179,5*129,5) mm |
Verfahrweg der X/Y-Achse | (150*100) mm |
X/Y-Linearschalen | Auflösung: 0,5 μm |
Code # | 525-020P |
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Granitbühne | (310*220) mm |
Glasstadium | (179,5*129,5) mm |
Verfahrweg der X/Y-Achse | (150*100) mm |
X/Y-Linearschalen | Auflösung: 0,5 μm |
Code # | 512 bis 400 |
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Größe der Arbeitsstadien | 455x126 mm |
Reisen in der Arbeitsphase | 300 x 150 mm |
Konzentration | 120 mm |
Genauigkeit | ≤3+L/200 (um) |
Code # | 512 bis 350 |
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Größe der Arbeitsstadien | 355x126 mm |
Reisen in der Arbeitsphase | 200x100mm |
Konzentration | 90 mm |
Genauigkeit | ≤3+L/200 (um) |
Code # | 511 bis 330 |
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Metallbühnengröße | 258 x 308 mm |
Größe der Glasbühne | 148x206 mm |
Reisebereich der Stufe | 150 x 100 mm |
Produktdimension | 988 x 563 x 1157 mm |
Code # | 542 bis 310 |
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Reisen in der Arbeitsphase | 355 x 125 mm |
X/Y-Axis Reise | 200 x 120 mm |
Z-Achse | 110 mm |
Messgenauigkeit | ≤3+L/200um |
Code # | 511 bis 420 |
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Metallbühnengröße | 308 x 408 mm |
Größe der Glasbühne | 198x306 mm |
Reisebereich der Stufe | 250X150MM |
Produktdimension | 1003 x 617 x 1309 mm |