| Code # | 525-020P |
|---|---|
| Granitbühne | (310*220) mm |
| Glasstadium | (179,5*129,5) mm |
| Verfahrweg der X/Y-Achse | (150*100) mm |
| X/Y-Linearschalen | Auflösung: 0,5 μm |
| Code# | 542-310 |
|---|---|
| Working Stage Travel | 355x125mm |
| X/Y-axis Travel | 200x120mm |
| Z axis | 110mm |
| Measurement Accuracy | ≤3+L/200um |
| Code # | 542 bis 310 |
|---|---|
| Reisen in der Arbeitsphase | 355 x 125 mm |
| X/Y-Axis Reise | 200 x 120 mm |
| Z-Achse | 110 mm |
| Messgenauigkeit | ≤3+L/200um |
| Code # | 525 bis 380K |
|---|---|
| Fahrt auf der Achse X/Y | (500*500) mm |
| Z-Achse Reisen | 300 mm |
| X/Y/Z-Achse Lineare Skala | Auflösung: 0,1 mm |
| Lenkungsmodus | Lineare Präzisionsleitbahnen |
| Code# | 542-310 |
|---|---|
| Working Stage Travel | 355x125mm |
| X/Y-axis Travel | 200x120mm |
| Z axis | 110mm |
| Measurement Accuracy | ≤3+L/200um |
| Code # | 524 bis 220H |
|---|---|
| Fahrt auf der Achse X/Y | (400*300) mm |
| Z-Achse Reisen | 200 mm |
| X/Y/Z 3-Achsen-Linienskala ((mm) | Auflösung: 0,5 μm |
| Wiederholbarkeit | 2um |
| Code # | 524 bis 220H |
|---|---|
| Fahrt auf der Achse X/Y | (400*300) mm |
| Z-Achse Reisen | 200 mm |
| X/Y/Z 3-Achsen-Linienskala ((mm) | Auflösung: 0,5 μm |
| Wiederholbarkeit | 2um |
| Code # | 529-120J |
|---|---|
| Fahrt auf der Achse X/Y | (500*400) mm |
| Z-Achse Reisen | 200 mm |
| X/Y/Z 3-Achsen-Linienskala ((mm) | Auflösung: 0,5 μm |
| Genauigkeit der XY-Achse | ≤ 3,0+L/200 ((um) |
| Code # | 529-120H |
|---|---|
| Fahrt auf der Achse X/Y | (400*300) mm |
| Z-Achse Reisen | 200 mm |
| X/Y/Z 3-Achsen-Linienskala ((mm) | Auflösung: 0,5 μm |
| Genauigkeit der XY-Achse | ≤ 3,0+L/200 ((um) |
| Code # | 529 bis 120G |
|---|---|
| Fahrt auf der Achse X/Y | (300*200) mm |
| Z-Achse Reisen | 200 mm |
| X/Y/Z 3-Achsen-Linienskala ((mm) | Auflösung: 0,5 μm |
| Genauigkeit der XY-Achse | ≤ 2,5+L/200 ((um) |