| Code # | 512 bis 350 |
|---|---|
| Größe der Arbeitsstadien | 355x126 mm |
| Reisen in der Arbeitsphase | 200x100mm |
| Konzentration | 90 mm |
| Genauigkeit | ≤3+L/200 (um) |
| Code # | 512 bis 400 |
|---|---|
| Größe der Arbeitsstadien | 455x126 mm |
| Reisen in der Arbeitsphase | 300 x 150 mm |
| Konzentration | 120 mm |
| Genauigkeit | ≤3+L/200 (um) |
| Code # | 512 bis 400 |
|---|---|
| Größe der Arbeitsstadien | 455x126 mm |
| Reisen in der Arbeitsphase | 300 x 150 mm |
| Konzentration | 120 mm |
| Genauigkeit | ≤3+L/200 (um) |
| Code # | 511 bis 410 |
|---|---|
| Metallbühnengröße | 308 x 408 mm |
| Größe der Glasbühne | 198x306 mm |
| Reisebereich der Stufe | 200x100mm |
| Produktdimension | 1003 x 617 x 1309 mm |
| Code # | 525-020P |
|---|---|
| Granitbühne | (310*220) mm |
| Glasstadium | (179,5*129,5) mm |
| Verfahrweg der X/Y-Achse | (150*100) mm |
| X/Y-Linearschalen | Auflösung: 0,5 μm |
| Code # | 511 bis 420 |
|---|---|
| Metallbühnengröße | 308 x 408 mm |
| Größe der Glasbühne | 198x306 mm |
| Reisebereich der Stufe | 250X150MM |
| Produktdimension | 1003 x 617 x 1309 mm |
| Code # | 512 bis 400 |
|---|---|
| Größe der Arbeitsstadien | 455x126 mm |
| Reisen in der Arbeitsphase | 300 x 150 mm |
| Konzentration | 120 mm |
| Genauigkeit | ≤3+L/200 (um) |
| Code # | 511 bis 420 |
|---|---|
| Metallbühnengröße | 308 x 408 mm |
| Größe der Glasbühne | 198x306 mm |
| Reisebereich der Stufe | 250X150MM |
| Produktdimension | 1003 x 617 x 1309 mm |
| Code # | 512 bis 350 |
|---|---|
| Größe der Arbeitsstadien | 355x126 mm |
| Reisen in der Arbeitsphase | 200x100mm |
| Konzentration | 90 mm |
| Genauigkeit | ≤3+L/200 (um) |
| Code # | 511 bis 330 |
|---|---|
| Metallbühnengröße | 258 x 308 mm |
| Größe der Glasbühne | 148x206 mm |
| Reisebereich der Stufe | 150 x 100 mm |
| Produktdimension | 988 x 563 x 1157 mm |
