| Code # | 511 bis 330 |
|---|---|
| Metallbühnengröße | 258 x 308 mm |
| Größe der Glasbühne | 148x206 mm |
| Reisebereich der Stufe | 150 x 100 mm |
| Produktdimension | 988 x 563 x 1157 mm |
| Code # | 511 bis 340 |
|---|---|
| Metallbühnengröße | 258 x 358 mm |
| Größe der Glasbühne | 148x256 mm |
| Reisebereich der Stufe | 200x100mm |
| Produktdimension | 988 x 563 x 1157 mm |
| Code # | 525-020P |
|---|---|
| Granitbühne | (310*220) mm |
| Glasstadium | (179,5*129,5) mm |
| Verfahrweg der X/Y-Achse | (150*100) mm |
| X/Y-Linearschalen | Auflösung: 0,5 μm |
| Code # | 510 bis 340 |
|---|---|
| LCD-Bildschirm-Größe | 115 mm × 85 mm |
| Auflösung des LCD-Bildschirms | 640*480 |
| Anzeigen-Achse | 3 Achsen (X,Y,Z/Q) |
| Lineare Skala-Entschließung | 0.1um,0.2um,0.5mm, 1mm, 2mm, 5mm |
| Code # | 525-020P |
|---|---|
| Granitbühne | (310*220) mm |
| Glasstadium | (179,5*129,5) mm |
| Verfahrweg der X/Y-Achse | (150*100) mm |
| X/Y-Linearschalen | Auflösung: 0,5 μm |
